電氣部分
1離子源電源：為離子源提供加速、聚焦、拒斥和接收極抑制電壓。
2發(fā)射電流穩(wěn)定電路：穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。
3離子流放大器和音響報(bào)警器：將輸出信號(hào)送入顯示器和音響報(bào)警器，同時(shí)指示出信號(hào)的大小。
4真空丈量電路：一般用熱阻真空計(jì)丈量低真空動(dòng)平衡儀，用冷陰極真空計(jì)丈量高真空。
5燈絲保護(hù)電路：當(dāng)質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護(hù)燈絲。
6其他電路：振動(dòng)分析儀不同型號(hào)的檢漏儀所具有的功能也不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自說(shuō)明書(shū)中都有說(shuō)明。

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