氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇
首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)。但也不是越高越好。超聲波檢漏儀便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。吸槍法也較常用；由于本機(jī)真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時(shí)就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將大大降低。檢大容器時(shí)，一般選逆擴(kuò)散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機(jī)械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時(shí)間要長。如果在流水線上測振儀可選用專用檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時(shí)被檢件什么樣的都可能有，最好選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。為了滿足無油或少油清潔真空的檢漏要求，可選用分子泵順檢型檢漏儀或外加擋油措施，也可以使用全無油裝置。

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