熱偶真空計和電阻真空計具有下列優(yōu)點：
即被測容器的真實壓力；
1反映的總壓力。>
2能連續(xù)測量，并能遠距離讀數；
3結構簡單測振儀，容易制造；
4即使突然遇到大氣，亦不燒壞。
熱偶真空計和電阻真空計存在缺點是
1校準曲線因氣體種類而異，故獨異于空氣測得的校準曲線，不能直接用于其他氣體；
2有熱慣性，壓力變化時熱絲溫度的改變常滯后一些時間，讀數亦滯后一些時間；
3受外界溫度的影響較大振動分析儀，故規(guī)管必需裝置于不易受輻射熱或對流熱的地方；
4老化現象較嚴重，必需經常校準。

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